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橢圓偏振測厚儀

更新時間:2024-05-11

產(chǎn)品型號:TP-TPY-1

廠家性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問次數(shù):690

簡要描述:

產(chǎn)品特點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點;
光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高;
儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。

橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號:TP-TPY-1

在近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此,更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實際工作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測定光學(xué)參數(shù),如:布儒斯特角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優(yōu)點,因而,橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

產(chǎn)品特點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點;
光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高;
儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。
 
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo):
測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm;      折射率范圍:1-10
測量最小示值:≤1nm                      入射光波長:632.8nm  
光學(xué)中心高:80mm                         允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:±1nm和±0.01
主機(jī)重量:25kg    入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°精度為0.05°
 
成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、計算軟件
外形尺寸:680*390*320mm


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